產業設備
設備前端模組
設備概述：
適用於4/6、8/12寸的晶圓產品搬運。
設備特點：
♦︎ 入出料方式：支持Foup、Open Cassette、Coin Box (餅乾盒)
♦︎ 基本功能：包含Auto Mapping、Notch Alignment
♦︎ 選配功能：OCR、Barcode Reader、SCES/GEM
規格介紹
外形尺寸
對應片盒
對應晶圓
傳片效率
潔淨等級
Load Port
重量
廠務
W1440 × D1260 × H2250
300mm FOUP 25pcs (SEMI E47.1)
FOSB 25 pcs (SEMI M31)
300mm FOUP with 8’Open Cassette
SEMI E47.1，E62標準品
200mm-300mm矽片、厚度0.4-1.0mm
200片/h
ISO Class2 (FFU使用)
2 Port
500Kg
電源：AC220V、50HZ
乾燥空氣：0.5MPa±10%
真空：優於 -53KPa