産業機器
機器フロントエンドモジュール
機器の概要:
4/6インチおよび8/12インチのウェハ製品の取り扱いに適しています。
装備の特徴:
♦︎ 給排紙方法：フープ、オープンカセット、コインボックス（クッキーボックス）に対応
♦︎ 基本機能: 自動マッピングとノッチアライメントを含む
♦︎ オプション機能: OCR、バーコードリーダー、SCES/GEM
仕様
外形寸法
対応するタブレットボックス
対応するウェーハ
フィルム転写効率
清潔度レベル
ロードポート
重さ
工場業務
幅1440×奥行1260×高さ2250
300mm FOUP 25個 (SEMI E47.1)
FOSB 25個（SEMI M31）300mm FOUP、8フィートオープンカセット付き SEMI E47.1、E62規格製品
直径200mm～300mm、厚さ0.4～1.0mmのシリコンウエハー。
200個/時
ISO クラス 2 (FFU 用)
2ポート
500キログラム
電源：AC220V、50HZ、乾燥空気：0.5MPa±10%、真空：-53KPa以上