薄ウェハカセット装置

モデル: WPM-34

機器の概要:

3/4インチの薄いウェーハ（最小厚さ40～600μm）の場合、正確なアライメント調整が可能になります。

装備の特徴:

♦︎ このプロセスでは、SECSおよびローカルシステムコマンドを介して、ウェハをトレイとカセットに自動的にロードします。♦︎ パッケージには、ウェハ、トレイ、フォームパッド、および緩衝材としてのディスクが含まれます。♦︎ 内容物識別には以下が含まれます。1. カートリッジID：QRコード 2. ウェハID：OCR ♦︎ 清浄度レベル：クラス100 ♦︎ UPH>500