ウェーハプッシュプル力試験装置

モデル: ABT200W

機器の概要:

この装置は、SiC などのウエハのホットプレスパッケージングやダイボンディングに適しています。

装備の特徴:

♦︎ 銀ペーストまたは銀フィルムプロセスをサポート ♦︎ 加熱式ピックアンドプレースヘッドと標準ピックアンドプレースヘッドの両方を装備 ♦︎ 加熱式ピックアンドプレースヘッドの温度は最大 300℃、力制御は最大 300N (オプションで 500N) ♦︎ 予熱と配置の 2 つの加熱プラットフォームを備えたトラック加熱機能を備えています。温度設定可能、範囲：RT〜300℃（予熱と加熱は同じ） ♦︎ 標準ピックアンドプレースヘッドが付属しており、標準ピックアンドプレースヘッドから加熱ピックアンドプレースヘッドへのウェーハの転送を可能にし、加熱と冷却時間を短縮し、生産効率を向上します ♦︎ 圧力と温度のプロファイルを自動的に生成するインテリジェントな温度監視システムを備えています ♦︎ サイズ範囲：2x2mm〜20x20mm ♦︎ 高UPH：1K（製品プロセス要件（加熱温度、加圧時間）に応じて変動する場合があります） ♦︎ ノズル洗浄機構：ノズルの洗浄用 ♦︎ 加熱中の製品の酸化を防ぐためのオプションの窒素注入モジュール ♦︎ 焼結プロセスからのすべての残留ガスを除去するための排気システムを装備（工場の換気システムに接続できます） ♦︎ 複数のウェーハ/材料供給方法、およびアップグレードと拡張機能を備えた柔軟な構成。