產業設備

多功能IGBT貼片機

型號:CYG-GM4U-S

設備概述:

本設備適用於SiC等晶片熱壓封裝固晶


設備特點:

♦︎ 支持銀膏或銀膜工藝♦︎ 具備同時搭配加熱取放頭與標準取放頭♦︎ 加熱取放頭溫度可達300℃,力控能力可達300N(選配500N)♦︎ 具備軌道加熱功能,有預加熱和貼片兩個加熱平台,溫度可設定,溫度範圍:RT~300℃(預熱和加熱相同)♦︎ 具備標準取放頭,可實現晶片從標準取放頭到加熱取放頭的轉移,減少取放頭加熱和降溫的時間,提高生 產效率♦︎ 設備具備智慧溫度監控系統,可自動生產壓力、溫度曲線♦︎ 尺寸範圍:2x2mm~20x20mm♦︎ 高UPH:1K(依據產品製程(加熱溫度,加壓時間)要求會上下浮動)♦︎ 吸嘴清潔機構:用於吸嘴的清潔處理♦︎ 可選配噴氮氣模組,防止加熱時產品氧化♦︎ 具備抽風系統,將燒結過程總的殘留氣體排出設備外(可對接廠務排風系統)♦︎ 靈活配置多種晶片/物料上料方式,具備升級擴充的能力


規格介紹

設備精度

晶片尺寸

晶片厚度

取放頭

取放頭力控

基板或載具

wafer尺寸

輸入電壓

氣壓

設備尺寸

XY:±10μm3σ θ:0.2°

2*2-20*20毫米

0.05-2毫米

加熱頭溫度RT~300℃,可設定,精度±5℃

程式控制0.5-300N(選配500N)

附加熱功能,有預熱模組、溫度可設定,軌道寬度支援85~280mm可調

6寸、8寸、12寸

交流電 220V 50Hz

0.5~0.7兆帕

1200 × 1500 × 1750毫米

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